국가과학기술연구회, NST는 2020년도 융합연구단사업으로 국가핵융합연구소가 주관하는 '반도체 플라스마 공정 장비 지능화 기술 개발 및 실증' 과제를 선정했습니다.
한국표준과학연구원 등 정부출연기관과 서울대 등 7개 대학이 참여하는 플라스마융합연구단은 반도체 플라스마 공정 장비 개발을 위해 다음 달부터 6년간 440억 원을 투입해 연구를 진행합니다.
이정우 [leejwoo@ytn.co.kr]
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